远紫外 极紫外 真空紫外 软X射线 光谱仪 VUV / XUV / SXR光谱仪
VUV / XUV / SXR光谱仪可以覆盖远紫外/极紫外/真空紫外/软X射线频段。宽带光谱测量通过三个覆盖1-20 nm、5-80 nm和40-200 nm的可互换光栅实现。在没有入口狭缝的情况下也可以使用光谱仪，能在一定范围的光源距离内最大程度地收集光。 其模块化设计可匹配不同的实验几何形状和配置。 具有集成的狭缝支架和过滤器插入单元，以及电动光栅定位。
可以加载光斑分析仪选件，两者之间的自动快速切换可以对光束轮廓进行验证。光斑分析仪会稍微降低SXR和XUV光栅的光谱带宽。
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